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江苏元夫半导体取得抛光转台及抛光转台冷却系统专利,有利于减少热量对抛光质量的影响
金融界2025年4月4日消息,国家知识产权局信息显示,江苏元夫半导体科技有限公司取得一项名为“一种抛光转台及抛光转台冷却系统”的专利,授权公告号CN 222711821 U,申请日期为2024年6月。专利摘要显示,本申请公开了一种抛光转台及抛光转台冷却系统,该抛光转台包括:抛光盘,抛光盘上设有第一冷
2025-04-04 17:33:00
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